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高純氣體輸送/使用環(huán)節(jié)監(jiān)測(cè)

應(yīng)用概述

高純氣體從存儲(chǔ),輸送,分配到使用,都離不開壓力監(jiān)測(cè)。麥克傳感器研制生產(chǎn)的壓力變送器是精準(zhǔn)獲取高純氣體壓力信息的有力儀表,對(duì)需要保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說,是理想的選擇。

應(yīng)用挑戰(zhàn):

1、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境惡劣,對(duì)儀表穩(wěn)定性要求高;

2、工況復(fù)雜,現(xiàn)場(chǎng)儀表的測(cè)量精度要求高;

3、保障供氣系統(tǒng)安全、穩(wěn)定、無污染且滿足工藝制成。

解決方案優(yōu)勢(shì):

1、產(chǎn)品密封性高,氦氣泄漏率: ≤ 1 x 10-10MPa I/ sec(atm STD cc/sec),符合SEMIF1;

2、潔凈度高,生產(chǎn)地點(diǎn):百級(jí)清潔車間;表面處理:電拋光,符合SEMI F19;表面光潔度:典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ;

3、耐腐性好,材質(zhì)316L VAR,符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn);

4、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好,長(zhǎng)期穩(wěn)定性±0.25%FS/年,高EMC防護(hù)等級(jí),零點(diǎn)可調(diào);

5,結(jié)構(gòu)特點(diǎn),緊湊精小,適用于狹小空間

高純氣體專用儀表
新聞與活動(dòng)
相關(guān)行業(yè)應(yīng)用
  • 氧氣壓縮氣瓶

    壓縮氣瓶的供氣管道與供氣管通需采用壓力變送器來監(jiān)測(cè)其壓力情況,保障氣瓶使用安全。

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  • 氫氣運(yùn)輸管道監(jiān)測(cè)

    由于氫氣極易擴(kuò)散、易燃易爆等特性,為保證其運(yùn)輸過程中的安全性,需要壓力變送器對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格的壓力監(jiān)測(cè)。

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  • 制氧機(jī)/制氮機(jī)

    制氮機(jī)/制氧機(jī)多用于電子、醫(yī)療、空調(diào)冷庫或食品飲料行業(yè),在制氮機(jī)/制氧機(jī)上的壓力變送器除了監(jiān)測(cè)容器內(nèi)的壓力,還常用于變壓吸附過程的監(jiān)測(cè)。

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  • 立式/臥式深冷高壓儲(chǔ)罐

    立式/臥式深冷高壓儲(chǔ)罐壓力變送器除了測(cè)量罐內(nèi)壓力,也用于測(cè)量罐體絕對(duì)壓力及低溫泵前后的壓力,以保障系統(tǒng)安全運(yùn)行,差壓測(cè)量是測(cè)量深冷高壓散裝儲(chǔ)罐液位最普遍可靠的方式。

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