隨著半導體技術的發(fā)展，半導體壓力傳感器也應運而生，其特點是體積小、質量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發(fā)展，半導體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。
壓力傳感器的種類很多，根據(jù)不同的分類標準可以分成不同種類。下面為大家介紹兩種最為常見的壓力傳感器：
1擴散硅式壓力傳感器
擴散硅壓力傳感器工作原理是基于壓阻效應，利用壓阻效應原理，被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷)，使膜片產(chǎn)生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，利用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
擴散硅壓力傳感器體積小、重量輕，性能穩(wěn)定，適合制作小量程的變送器，主要應用于過程控制系統(tǒng)、壓力校準儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門、液位測量、制冷設備和 HVAC 控制等行業(yè)。
2、電容式壓力傳感器
電容式壓力傳感器是一種利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。
電容式壓力傳感器具有輸入能量低，高動態(tài)響應，自然效應小，環(huán)境適應性好等特點。其中，陶瓷電容壓力傳感器因其耐腐蝕、抗沖擊、無遲滯、介質兼容性強等優(yōu)勢可以廣泛應用在水、氣、液多種介質的壓力檢測。
壓力是生產(chǎn)生活中的重要參數(shù)之一，壓力傳感器也廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、石化、油井、電力、船舶、機床、管道等眾多行業(yè)。
